中国电科旗（qí）下电科（kē）装备研制成功（gōng）的离子注入（rù）机。中国电科（kē） 供图

　　中新网北京3月17日电 (记者 孙自法（fǎ）)记者17日从中国电子科技（jì）集团（tuán）有限公司(中国电科)获悉，该集（jí）团旗下电科装（zhuāng）备（bèi）已成功实现离子注入（rù）机全谱系（xì）产品国产化，可为全球芯片制造企业（yè）提供离子注入机一站式解决方案。

　　中国电科（kē）介（jiè）绍说，离子注入机是芯片制造中的关键装（zhuāng）备。电（diàn）科装备连续（xù）突（tū）破大流强长寿（shòu）命高品质（zhì）离（lí）子源、高速晶圆传输（shū）等“卡脖子（zǐ）”关键技术，自主研制出中束流、大束（shù）流、高能、特种应（yīng）用及（jí）第三（sān）代半导（dǎo）体等离子注入机，工艺段覆盖至28纳（nà）米，已累（lèi）计形成核心发明（míng）专（zhuān）利（lì）413项（xiàng），实现中国芯片制造领域全谱系离子（zǐ）注入（rù）机（jī）自主创（chuàng）新发展，将有效缓解中国芯片制（zhì）造领域（yù）断链、短（duǎn）链难（nán）题。

　　中国电科表（biǎo）示，下一步，电（diàn）科装备将瞄（miáo）准高端，紧跟先进工艺（yì）发展，加快推进适用（yòng）于更（gèng）先进（jìn）工艺（yì）节（jiē）点离子（zǐ）注入机（jī）的（de）研发及产业化。

　　据了解，中国电科是中国军工（gōng）电（diàn）子主力军、网信（xìn）事业“国家队”、国家战略科技力（lì）量，拥有电（diàn）子信（xìn）息领（lǐng）域相对完备的科技创新体（tǐ）系。目（mù）前（qián），中国电科旗下包（bāo）括47家国家级研究院所（suǒ）、11家上市公司在内的企（qǐ）事业单位500余家（jiā），员工20余万名，并拥有35个国家级重点实验室、研究中心和创新中心。