在电科装备离子注入（rù）机装（zhuāng）配调试净（jìng）化区（qū），满（mǎn）满排列着数台待（dài）调试设（shè）备（bèi），工程师们正紧张有序地忙碌着。

　　随（suí）着首台高能离（lí）子（zǐ）注入机进入（rù）调（diào）试阶段（duàn），电科（kē）装备实（shí）现了（le）中束流、大束（shù）流、高（gāo）能（néng）、特种应用及（jí）三代半导体（tǐ）离子注入机全谱系产品（pǐn）创新（xīn）发展，有效缓解了我国（guó）芯（xīn）片制造领域断（duàn）链、短（duǎn）链（liàn）难题。

　　这是电科装备澎湃向前的一（yī）个（gè）缩影。在（zài）集成电路（lù）产业发展（zhǎn）的战（zhàn）略机遇期，电（diàn）科装备瞄准高端（duān）装备主战场，以“四（sì）新（xīn）”引擎（qíng），持（chí）续壮大发（fā）展新（xīn）动能，交出（chū）“硬核”成绩（jì）单。

　　突出强军首责，补（bǔ）链强链能力（lì）实现新跨越。落实习（xí）近平总（zǒng）书（shū）记（jì）“只有把关键核（hé）心技术掌握在（zài）自己（jǐ）手中，才（cái）能从（cóng）根本（běn）上保（bǎo）障国（guó）家经济安全（quán）、国防安全和其（qí）他安（ān）全”的指示批（pī）示精（jīng）神（shén），落（luò）实集团公司党组“三（sān）四六八”总体（tǐ）要（yào）求，电科装备充（chōng）分认识到（dào），作为集成电（diàn）路产业基石，集成（chéng）电路高（gāo）端（duān）制造装备就是最关键最核心的国（guó）之（zhī）重器（qì），没有自立自强的集（jí）成电（diàn）路（lù）制造（zào）装备，就（jiù）没有我国集成电（diàn）路（lù）的（de）未来。聚焦（jiāo）高端装备“卡脖（bó）子”问（wèn）题，电科（kē）装备加快推进红外器件（jiàn）工艺装备和第三代半导（dǎo）体核心工艺装备自立自强，截至目前，所有项目均（jun1）按节点推进。

　　第三代半导（dǎo）体是5G通信、新能（néng）源汽车、数据中心等产（chǎn）业的基础（chǔ），电科装备聚焦产业链的薄弱（ruò）环节，成体系布局第三代半（bàn）导体装（zhuāng）备，成（chéng）功（gōng）推出SiC外延设备（bèi），与性能不断优化的高温离子（zǐ）注入机、高温退火（huǒ）炉（lú）和高温氧（yǎng）化炉形（xíng）成局部成套（tào）能力。

　　深化创（chuàng）新驱动，关键核心（xīn）技术取得新进展。电科装（zhuāng）备坚持目标导向、问题导向（xiàng），把（bǎ）科技创新（xīn）和关键核心（xīn）技术攻关作为重大（dà）任（rèn）务，集中优势资源，加快提升关键核心技术自主可控能力。

　　面向（xiàng）国家（jiā）战略需要，自主研发的CMP设备成功进入客户现场（chǎng）验（yàn）证，各项测试数据良好。围绕产业（yè）链部署创新链，全系列晶圆清洗（xǐ）干燥技术达到国际先进水（shuǐ）平，形（xíng）成（chéng）了槽式（shì）清洗设（shè）备、单片（piàn）清（qīng）洗设（shè）备（bèi）、甩（shuǎi）干设备和晶圆电镀设备四大产品（pǐn）系列（liè），在国内第二、第三代化合物半导体市场牢牢占据着主导地位，有力支（zhī）撑了（le）我国产（chǎn）业链供应链安（ān）全。瞄（miáo）准（zhǔn）光器件“卡脖子”难题，自（zì）主研制的全自（zì）动多芯片共晶贴（tiē）片设备成功填补（bǔ）国（guó）内空白，可完全（quán）替代人工（gōng）进行多芯片共晶焊接贴片，满足5G应用场景高速发展对（duì）更大的传输容（róng）量和（hé）更快传输速率的新要求。

　　支撑自立自强，高（gāo）端装备产业化迈出新步伐。面对错综复杂（zá）的国际环境带来的新矛盾新挑战，电科装备立足支撑我国高水平科（kē）技自立自强，着力提升高端装备产业化能力，加快补（bǔ）齐产业（yè）链供应链短板弱项。

　　高能离（lí）子（zǐ）注入机（jī）销（xiāo）售实现零突破，各型离子注入（rù）机（jī）新签合同同比（bǐ）增长400%。200mm CMP设备国内（nèi）市场占有率达（dá）到70%，成为（wéi）知名集（jí）成电（diàn）路制造企（qǐ）业唯一置（zhì）换率100%的国产设备（bèi）。全自（zì）动（dòng）减薄设（shè）备相继打入大（dà）客户生产线，拥有完全自主（zhǔ）知识产（chǎn）权的（de）国产减薄设备在国内（nèi）大尺寸硅材料片（piàn）领域实现全（quán）系（xì）列化应用，核心零部件（jiàn）100%拥有自主知识产权。服务国（guó）家“碳达峰、碳（tàn）中和（hé）”，成功（gōng）发布我国首款超（chāo）大产能异质（zhì）结专用PVD设（shè）备，产（chǎn）能达到（dào）8000片/小（xiǎo）时；光伏装备覆盖行业前十客户（hù）订单，发货量同比增长204%，再创（chuàng）历史（shǐ）新高。平板显示设备、传感器、热工装备订单上半年均实现两位数增长（zhǎng），呈现多（duō）点（diǎn）开花（huā）、加速发展的态势。中国电科（kē）土耳其光伏项（xiàng）目一期500MW全产（chǎn）业链（liàn）建设（shè）项目（mù）顺（shùn）利完成验收，二期500MW项目进展顺利，竖起全球光伏整线（xiàn）高端装备（bèi）的“中国（guó）名片”。

　　全面深化改革，重点领（lǐng）域（yù）改革取得新突破。坚持高（gāo）标准、高起点谋划改（gǎi）革发展“路线图”，电科装备落实“使命引领型”战略规划编制（zhì）方法，完成（chéng）“十四五”规（guī）划文（wén）本（běn）编制。聚焦“产业基础”板块，牵头开展重大工（gōng）程论（lùn）证，为集团公司（sī）整体规划（huá）的编制（zhì）提（tí）供（gòng）了有效支（zhī）撑。制定（dìng）下（xià）发“双百（bǎi）行（háng）动”实（shí）施方案（2021-2022年（nián））及工（gōng）作清单（dān），确保年底前完（wán）成70%总体任务目标（biāo）。

　　落实（shí）“国家利（lì）益最大化、融资最大化（huà）、市值最大化、可持（chí）续发（fā）展”要求（qiú），打造“具有（yǒu）全（quán）球竞争（zhēng）能（néng）力的集（jí）成（chéng）电路装备旗舰公司”，采取“核（hé）心装备整合+X业（yè）务混改（gǎi）”的（de）灵活机动战术，推动（dòng）烁（shuò）科中（zhōng）科信（xìn）和烁科精微整合工作。加快（kuài）湿法设备（bèi）业务整合，以虚拟公司模式运转，按照上市公司财务制度加（jiā）强虚拟公司的财务规范性。

　　站在第二个百年奋斗目标的（de）新（xīn）起点，电科装备正阔步启新程，以创新（xīn）为矛，进击未来。